Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку ЦКП

Центр коллективного пользования научным оборудованием «Технологии наноструктурирования полупроводниковых, металлических, углеродных, биоорганических материалов и аналитические методы их исследования на наноуровне»

Сокращенное наименование ЦКП: ЦКП «Наноструктуры»

Базовая организация: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Ведомственная принадлежность: ФАНО России

Год создания ЦКП: 2003

Сайт ЦКП: http://www.isp.nsc.ru/ckp/

УНУ в составе оборудования ЦКП:

Заказать услуги ЦКП

Контактная информация:

Местонахождение ЦКП:

  • Федеральный округ: Сибирский
  • Регион: Новосибирская область
  • 630090, г. Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, д. 13

Руководитель ЦКП:

  • Латышев Александр Васильевич, доктор физико-математических наук, профессор, академик РАН
  • +7 (383) 3309082
  • latyshev@isp.nsc.ru

Контактное лицо:

  • Гутаковский Антон Константинович, кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник
  • +7 (383) 3309082
  • gut@isp.nsc.ru, gutakovskii.anton@yandex.ru

Сведения о результативности за 2017 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 15Число публикаций, ед.: 11Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 52.73

Краткое описание ЦКП:

Задачей ЦКП "Наноструктуры" является предоставление научно-исследовательским, инновационным и технологическим организациям Сибирского региона возможности использования в своих работах современных уникальных и дорогостоящих приборов, входящих в структуру ЦКП.
ЦКП специализируется в области исследований физико-химических свойств поверхности и границ раздела и объемных физических и химических свойств полупроводниковых кристаллических и некристаллических систем.
Деятельность ЦКП "Наноструктуры" строится на основе Положения о центрах коллективного пользования СО РАН, утверждённого на заседании Президиума СО РАН от 01.11.2001 г., Соглашения между организациями, входящими в состав ЦКП и Положения о ЦКП и Регламента ЦКП.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • исследования методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии атомной структуры, морфологии и химического состава широкого класса материалов из различных областей фундаментальной и прикладной науки, включая полупроводниковое материаловедение, катализ, минералогию и биологию;
  • оперативный бесконтактный контроль атомарных поверхностей методами атомно-силовой микроскопии;
  • определение элементного и химического состава поверхности твердых тел методами Оже, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС);
  • создание массивов наноструктур пониженной размерности для наноэлектроники и наномеханики методами оптической, электронной, ионной и зондовой литографии;
  • совершенствование и развитие экспериментальных методов диагностики и литографии применительно к системам пониженной размерности;
  • обучение, стажировки и повышение квалификации персонала Заказчика, эксплуатирующего дорогостоящее аналитическое оборудование, включая подготовку научно-технического персонала других центров коллективного пользования и научно-образовательных комплексов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

    Индустрия наносистем

Фотографии ЦКП:

Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 19 ед.):

Аналитический высокоразрешающий электронный микроскоп с корректором аберраций объектива и приставками EDX и EELS TITAN 80-300 (FEI)
Марка:  TITAN 80-300
Фирма-изготовитель:  FEI
Страна происхождения:  Нидерланды
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Вакуумная установка для напыления проводящих и диэлектрических слоев SunPla 600 TEM (SunPlaEng)
Марка:  SunPla 600 TEM
Фирма-изготовитель:  SunPlaEng
Страна происхождения:  Республика Корея
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Высокоразрешающий сканирующий электронный микроскоп SU 8280 (Hitachi) с приставкой для EDX анализа
Марка:  SU 8280
Фирма-изготовитель:  Hitachi
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Высокоразрешающий электронный микроскоп
Марка:  JEM-4000EX
Фирма-изготовитель:  JEOL
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  1990
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189- 01
Марка:  ЭМ-5189- 01
Фирма-изготовитель:  КБТЭМ-ОМО
Страна происхождения:  Белоруссия
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Комплекс пробоподготовки для микроскопии PIPS™ (Precision Ion Polishing System) модель 691 (Gatan)
Марка:  PIPS™(Precision Ion Polishing System) модель 691
Фирма-изготовитель:  Gatan
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2007
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Лазерный комплекс Multi Mode 8 (Bruker) для компарирования размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах
Марка:  Multi Mode 8
Фирма-изготовитель:  Bruker Corporation
Страна происхождения:  Соединённые Штаты Америки
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Микроскоп электронный растровый с литографической приставкой
Марка:  Raith-150
Фирма-изготовитель:  Raith
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Микроскоп электронный сканирующий LEO-1430 (Carl Zeiss) с приставкой ЕDX
Марка:  LEO-1430
Фирма-изготовитель:  Zeiss
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Многофункциональный комплекс плазмохимической обработки для создания сложных структур и устройств на их основе
Марка:  PlasmaLab
Фирма-изготовитель:  PlasmaLab
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2012
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Модернизированный микроинтерферометр измерительный
Марка:  МНП-1
Фирма-изготовитель:  КТИ НП, Новосибирск
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Оптический микроскоп Axio Imager z1m (Carl Zeiss)
Марка:  Axio Imager z1m
Фирма-изготовитель:  Carl Zeiss (Zeiss AG, Карл Цейсс)
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Оптический прямой микроскоп Olympus BX53
Марка:  Olympus BX53
Фирма-изготовитель:  Olympus
Страна происхождения:  Япония
Год выпуска:  2016
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Сверхвысоковакуумная установка COMPACT-21T (Riber)
Марка:  COMPACT-21T
Фирма-изготовитель:  RIBER
Страна происхождения:  Франция
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Сверхвысоковакуумный отражательный электронный микроскоп СВВ-ОЭМ на базе ПЭМ JEM-7A
Марка:  СВВ-ОЭМ на базе ПЭМ JEM-7A
Фирма-изготовитель:  ИФП СО РАН
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Сверхвысоковакуумный туннельный сканирующий микроскоп
Марка:  VT-STM
Фирма-изготовитель:  OMICRON
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Система ионно-лучевой обработки IM150, Oxford Applied Research, UK
Марка:  IM150
Фирма-изготовитель:  Oxford Applied Research
Страна происхождения:  Великобритания
Год выпуска:  2015
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  нет

Сканирующая зондовая нанолаборатория
Марка:  Ntegra Vita
Фирма-изготовитель:  NTMDT
Страна происхождения:  Россия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Установка фокусированных ионных пучков CROSS BEAM 1540XB (Carl Zeiss)
Марка:  1540XB
Фирма-изготовитель:  Zeiss
Страна происхождения:  Германия
Год выпуска:  2011
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  да

Услуги ЦКП (номенклатура — 6 ед.):

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем; Науки о жизни
Краткое описание услуги:  Исследования атомной структуры веществ методами высокоразрешающей аналитической просвечивающей электронной микроскопии на электронном микроскопе TITAN 80-300 c корректором сферических аберраций объектива, монохроматором, EDX и EELS детекторами и энергетическим фильтром GIF. Исследования с помощью дифракционной ВРЭМ нанообъектов, кластерных и протяженных конфигураций дефектов структуры, границ раздела в различных материалах с помощью высоковольтного микроскопа JEM-4000EX. Услуга может включать в себя цифровую обработку экспериментальных ВРЭМ изображений для получения карт распределения дилатаций и деформаций кристаллической решетки по площади анализируемого объекта.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем; Науки о жизни
Краткое описание услуги:  Проведение литографии, включая изготовление фотошаблонов, субмикронного диапазона с использованием электронно-лучевой литографии. Проведение оптической литографии. Наноструктурирование, основанная на электронной литографии сфокусированным электронным пучком на базе сканирующего электронного микроскопа. Наноструктурирование, основанная на прямом воздейсвтии сфокусированным ионным пучком на базе сканирующего электронного и ионного микроскопа. Модификация поверхности конденсированных сред с помощью сканирующего атомно-силового микроскопа.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем; Науки о жизни
Краткое описание услуги:  Препарирования планарных кристаллических образцов для просвечивающей и высокоразрешающей электронной микроскопии, включающая химико-механическую полировку, химическое травление и термическое окисление. Изготовление образцов поперечного сечения, основанное на ионном травлении тонких механических срезов склеенных структур, для изучения пространственного распределения, морфологии и атомной структуры нанообъектов, протяженных дефектов, границ раздела методами просвечивающей электронной микроскопии. Оригинальное препарирование сложных химических соединений на основе А2В6 для просвечивающей и высокоразрешающей электронной микроскопии, позволяющая изготовление планарных и поперечных сечений на основе химико-механического утонения.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  In situ управление морфологией поверхности кремния в условиях сублимации, эпитаксии и газовых реакций в камере сверхвысоковакуумного отражательного электронного микроскопа.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем; Науки о жизни
Краткое описание услуги:  Услуга может включать в себя: Проведение измерений линейных размеров элементов структур микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и биологических объектов в нанометровом диапазоне с помощью высокоразрешающей СЭМ. Измерение распределения электрического потенциала по поверхности конденсированных сред, измерение распределения электростатического заряда по поверхности конденсированных сред, измерение распределения производной емкости (в относительных единицах) по поверхности конденсированных сред, измерение распределения намагниченности (в относительных единицах) по поверхности конденсированных сред, измерение микротвердости (в относительных единицах) поверхности конденсированных сред с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории на базе атомно-силовых микроскопов фирмы NT MDT. Поверка и калибровка атомно-силовых микроскопов посредством субнанометровой меры СТЕПП-ИФП-1. Измерение линейных размеров нанорельефа на атомно-чистой поверхности полупроводников методом СТМ в сверхвысоком вакууме.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):  Индустрия наносистем
Краткое описание услуги:  Оптическая литография для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.

Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 16 ед.):

Высокоточная сверхвысоковакуумная методика трёхмерных измерения линейных размеров элементов структур, микро- и нанорельефа поверхности конденсированных сред за счет привязки в естественным размерам атомных решеток кристаллов
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии"
Дата аттестации:  12.06.2009

Методика измерений шероховатости поверхности твердотельных образцов с применением сканирующего зондового микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика выполнения измерений межплоскостных расстояний нанокристаллов с помощью просвечивающего электронного микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика измерений вертикальных размеров нанообъектов на поверхности твердотельных образцов с применением сканирующего зондового микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика создания атомно-гладких поверхностей кремния большой площади.
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  05.02.2014
Методика уникальна:  для всего мира

Методика измерений линейных латеральных размеров углеродных нанотрубок на поверхности твердотельных структур любых подложках с применением сканирующего зондового микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  05.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика измерений линейных латеральных размеров углеродных нанотрубок на поверхности твердотельных структур любых подложках с применением сканирующего электронного микроскопа
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  05.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика элементного анализа твердого вещества на базе анализа EDX спектров при исследованиях с помощью сканирующей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  05.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика выполнения измерений межплоскостных расстояний с помощью высокоразрешающего просвечивающего электронного микроскопа с использованием метода геометрической фазы
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  05.02.2014
Методика уникальна:  для России

Методика измерений распределения электрического потенциала по поверхности конденсированных сред с помощью сканирующего зондового микроскопа фирмы NT MDT.
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  для России

Методика измерений линейных размеров и количества слоев углеродных нанотрубок с применением высокоразрешающего просвечивающего электронного микроскопа .

Компьютерная методика количественного анализа механических напряжений в гетероэпитаксиальных системах на основе обработки оцифрованных картин высокоразрешающей электронной микроскопии.
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "СНИИМ"
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  для России

Методика количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур с применением сканирующего электронного микроскопа LEO-1430
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии"
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика трехмерных измерений линейных размеров элементов структур микро и нанорельефа поверхности конденсированных сред с помощью сканирующего зондового микроскопа фирмы NT MDT
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии"
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Методика количественного размерно-морфологического анализа различных типов материалов и измерений характеристик электронной дифракционной картины в веществе с применением просвечивающей электронной микроскопии
Наименование организации, аттестовавшей методику :  ФГУП "Сибирский государственный ордена Трудового красного знамени научно-исследовательский институт метрологии"
Дата аттестации:  06.02.2014
Методика уникальна:  нет

Вернуться к списку ЦКП

 

Для просмотра сайта поверните экран