Ваш браузер устарел!

Браузер, которым вы пользуетесь для просмотра этого сайта, устарел и не соответствует современным технологическим стандартам Интернета.

Вы можете установить последнюю версию подходящего браузера, воспользовавшись ссылками ниже:


Вернуться к списку ЦКП

Центр коллективного пользования научным и технологическим оборудованием «Микросистемная техника и интегральная сенсорика» ФГАОУ ВО «Южный федеральный универсистет»

Сокращенное наименование ЦКП: ЦКП «МСТИС» ЮФУ

Базовая организация: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Южный федеральный университет

Ведомственная принадлежность: Минобрнауки России

Год создания ЦКП: 2001

Сайт ЦКП: http://tbeh.sfedu.ru/цкп-микросистемная-техника-и-интегра/

Заказать услуги ЦКП

Контактная информация:

Местонахождение ЦКП:

  • Федеральный округ: Южный
  • Регион: Ростовская область
  • 347928, г. Таганрог, ул. Чехова, 2

Руководитель ЦКП:

  • Петров Виктор Владимирович, доктор технических наук, профессор
  • +7 (8634) 371635
  • vvpetrov@sfedu.ru

Контактное лицо:

Сведения о результативности за 2018 год (данные ежегодного мониторинга)

Участие в мониторинге: даЧисло организаций-пользователей, ед.: 1Число публикаций, ед.: 18Загрузка в интересах внешних организаций-пользователей, %: 0.00

Краткое описание ЦКП:

ЦКП "МСТИС" представляет собой совокупность следующих участков:
- участок фотошаблонов;
- участок фотолитографии;
- участок химии;
- участок фотохимии и гальваники;
- участок лазерно-технологический;
- участок вакуумно-плазменных работ;
- участок термических работ и ионного легирования;
- участок сборочно-монтажных работ;
- участок измерений и испытаний;
- участок вспомогательные технологические подразделения;
- учебный класс интегральной сенсорики, мониторинговых систем и химико-аналитических исследований.

Перечень услуг, оказываемых ЦКП «Микросистемной техники и интегральной сенсорики» Южного федерального университета (ЦКП «МСТИС» ЮФУ):
1) Термический отжиг образцов
2) ИК-отжиг образцов в вакууме
3) Скрайбирование
4) Центрифугирование
5) Нанесение контактов
6) ВЧ-напыление сегнетоэлектрических пленок
7) Измерение толщины пленок
8) Измерение сопротивления образцов полупроводниковых структур
9) Измерение характеристик сенсоров газов
10) Исследование характеристик сегнетоэлектрических пленок
11) Нанесение диэлектрических слоев

Услуги предоставляются в рамках договорных отношений.
Расчет стоимости услуг производится исходя из себестоимости одного часа работы используемого оборудования, себестоимости расходных материалов, а также времени, затрачиваемого на оказание услуги.

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:

  • Изготовление многокристальных модулей по традиционной тонкоплёночной технологии и по технологии «кремний на кремнии»;
  • Изготовление полупроводниковых малогабаритных датчиков давления, температуры, ускорения и интегрирование их с системами обработки информации в виде микросборок;
  • Создание элементов микрооптических и волоконно-оптических систем;
  • Разработка и создание полупроводниковых микротронных устройств (микронасосы, микродвигатели, клапаны, микрореле);
  • Формирование сегнетических пленок на полупроводниковых подложках и изготовление электрических приборов на их основе;
  • Синтез нанокомпозитных неорганических и органических материалов;
  • Разработка высокочувствительных сенсоров газов и мультисенсорных устройств;
  • Проведение практических и лабораторных работ по учебным специальностям.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899):

    Индустрия наносистем

Фотографии ЦКП:

Научное оборудование ЦКП (номенклатура — 14 ед., нет данных о загрузке за 2019 год):

Цифровой мультиметр DMM 4050
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  DMM 4050
Фирма-изготовитель:  Tektronix
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Китайская Республика
Год выпуска:  2014
Количество единиц:  1
Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения:  не указано

Микроскоп МИИ-4
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  МИИ-4
Фирма-изготовитель:  СССР
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2013
Количество единиц:  1

Микроскоп стереоскопический BMG-160 (Carl Zeiss)
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  BMG-160
Фирма-изготовитель:  Karl Zeiss Jena
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Печь диффузионная СД - 125
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  СД - 125
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Печь многофункциональная PEO-605
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  PEO-605
Фирма-изготовитель:  AVT Technologie GMBH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1

Печь многофункциональная РЕО-604
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  РЕО-604
Фирма-изготовитель:  ATV Technologie GMBH
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Германия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1

Скрайбер полуавтоматический Алмаз
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  Алмаз
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Усилитель зарядочувствительный РШ 2731Э
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  РШ 2731Э
Фирма-изготовитель:  ЗАО Руднев-Шиляев
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2010
Количество единиц:  1

Установка СУ-Пр-45
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  СУ-Пр-45
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  СССР (до 1991 года включительно)
Год выпуска:  2002
Количество единиц:  1

Установка вакуумного напыления УВН-2М
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  УВН-2М
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  СССР (до 1991 года включительно)
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Установка нанесения фоторезиста без типа
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  без типа
Фирма-изготовитель:  -
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Установка реактивного ВЧ-распыления Плазма 80СЭ
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  Плазма 80СЭ
Фирма-изготовитель:  ООО Элитех (Воронеж)
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  2008
Количество единиц:  1

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-576А
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  ЭМ-576А
Фирма-изготовитель:  СССР
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Россия
Год выпуска:  1983
Количество единиц:  1

Цифровой осциллограф
Загрузка прибора: нет данных за 2019 год
Марка:  TBS 1042
Фирма-изготовитель:  Tektronix
Страна происхождения фирмы-изготовителя:  Китайская Республика
Год выпуска:  2009
Количество единиц:  1

Услуги ЦКП (номенклатура — 11 ед.):

Для подачи заявки на оказание услуги щелкните по ее наименованию

Краткое описание услуги:  ВЧ-напыление сегнетоэлектрических пленок

Краткое описание услуги:  Измерение электрофизических параметров пленочных, полупроводниковых и других материалов

Краткое описание услуги:  Исследование характеристик сегнетоэлектрических пленок

Краткое описание услуги:  Нанесение диэлектрических слоев пленок

Методики измерений, применяемые в ЦКП (номенклатура — 5 ед.):

Методика проведения испытаний сенсоров физических величин
Наименование организации, аттестовавшей методику :  не аттестована

Методика проведения испытаний сенсоров химических величин
Наименование организации, аттестовавшей методику :  не аттестована

Методика проведения экспериментальных исследований сенсоров химических величин
Наименование организации, аттестовавшей методику :  не аттестована

Методика создания конструкции сенсора химических величин
Наименование организации, аттестовавшей методику :  не аттестована

Методика синтеза газочувствительных материалов для сенсоров химических величин
Наименование организации, аттестовавшей методику :  не аттестована

Вернуться к списку ЦКП

 

Для просмотра сайта поверните экран