ГлавнаяЦентры коллективного пользованияОборудование ЦКПОборудование для обработки покрытийУникальная научная установка на базе комплекса технологических установок Ника-201

Каталог оборудования центров коллективного пользования


Уникальная научная установка на базе комплекса технологических установок Ника-2012


Владелец данного оборудования
  • ЦКП: Технологии и Материалы НИУ «БелГУ»
  • Базовая организация: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Белгородский государственный национальный исследовательский университет»
  • Регион: Центральный, Белгородская область
  • Адрес: 308015, г. Белгород, ул. Победы, д. 85
Назначение прибора

Комплекс технологических установок на базе НИКА-2012 оснащен двумя магнетронами (диаметром 100 мм) и двумя дуговыми источниками с сепарацией плазменного потока (диаметром 70 мм) предназначенными для напыления пленок произвольного состава (металлы, диэлектрики, полупроводники) на подложки размером до 100 мм. диаметром. В установке использована сухая откачка форвакуумным насосом ANEST IWATA и турбомолекулярным насосом на магнитном подвесе фирмы SHIMADZU. В состав установки также входит высокочастотный генератор плазмы РПГ-128 для создания плотной низкотемпературной плазмы - универсальной технологической среды для ионно-плазменной обработки поверхности, азотирования и карбонитрирования, ионного ассистирования; осаждения материалов в ионизованном состоянии, плазмохимического травления и осаждения. Ионные источники с холодным катодом, обеспечивает линейную плотность тока до 25 мА/см длины рабочей зоны

Информация об оборудовании

  • Марка: Ника-2012
  • Фирма-изготовитель: Лаборатория вакуумных технологий (Beams)
  • Год выпуска: 2014
  • Количество единиц: 1
  • Наличие сертификата и других признаков метрологического обеспечения

Назад в раздел


0 комментариев

Комментарии отсутствуют!

Вы можете оставить свое сообщение первым.

Написать комментарий